Rambler's Top100 о нас  
наша почта  
контакты  
Продукция
Аксессуары к универсальному вакуумному посту ВН 2000 | Приставка магнетронного распыления ... English  
 
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
Вакуумметры
Датчики вакуума
Установки для напыления
Универсальный вакуумный пост ВН 2000 и ВН 2000 (-08)
Аксессуары к универсальному вакуумному посту ВН 2000
Вакуумная установка препарирования электронно-микроскопических объектов
Универсальный вакуумный пост ВН 3000
Аксессуары к универсальному вакуумному посту ВН 3000
Мишени и источники испарения
Насосы и запорная арматура
Системы комплексы напуска газов
Услуги
Нестандартное вакуумное оборудование изготовленное по ТЗ заказчика
МАСС-СПЕКТРОМЕТРЫ
Изотопные
Химические и биохимические
Квадрупольные
ЭЛЕКТРОННЫЕ МИКРОСКОПЫ
Растровые микроскопы
Просвечивающие микроскопы
Дополнительное оборудование
СПЕКТРОМЕТРИЯ
Рентген-флуоресцентные анализаторы
Атомно-флуоресцентные спектрофотометры
Атомно-абсорбционные спектрофотометры
Аксессуары к атомно-абсорбционным спектрофотометрам
Минерализатор
ИК-спектрофотометры
Иммуноферментные анализаторы
Биохимические анализаторы
УФ-ВИД СПЕКТРОФОТОМЕТРЫ
Флюориметры
Пламенные фотометры
Измерители хлоридов
Услуги
ХРОМАТОГРАФЫ
Газовые хроматографы
Устройство пробоподготовки масел УПМ-1
Жидкостные хроматографы
СВАРОЧНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Электронно-лучевая аппаратура
Точечная сварка
Вакуумный комплекс
Модернизация системы управления ЭЛА
ЛАБОРАТОРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Анализаторы азота (блок перегонки) методом Къельдаля
Дигесторы (печи)
Анализаторы афлатоксинов
Анализаторы жиров и масел (по Сокслету)
Анализатор клетчатки
Потенциометрия
Ультразвуковые ванны
УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ ДИСПЕРГАТОРЫ
Световые микроскопы
Прибор определения числа падения
Аквадистилляторы электрические
Шкафы сушильные
ЛАБОРАТОРНОЕ ПОСУДА
УСЛУГИ
Ремонт оборудования
Эл.-лучевая сварка в вакууме
Модификация поверхностей
Оптимизация ионно-оптических систем
 
 
 
Поиск по сайту
 
Приставка магнетронного распыления ПМР-3

Увеличить (21 Кб)
Увеличить (75 Кб)
Увеличить (36 Кб)
Приставка магнетронного распыления ПМР-3 служит для модернизации более старой модели ВУП-5.

Магнитораспыляющая система обеспечивает:
  • универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
  • высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
  • сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
  • получение особо чистых пленок;
  • высокую адгезию пленок и подложки;
  • возможность изменения структуры и свойств пленок;
  • распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
  • низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
  • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
  • высокую энергетическую эффективность процесса;
  • использование для осаждения и травления широкого класса материалов.

ТХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

В состав приставки магнетронного распыления ВН 2000 входит:
  • магнетрон, диаметр мишени 80мм, устанавливается на фланце, в верхней части рабочего колпака;
  • блок питания (1 А, 900 В), устанавливается сверху пульта вакуумного универсального поста.
Габаритные размеры магнетрона:
диаметр 180 мм
высота 80 мм

Габаритные размеры блока питания:
длина 465 мм
ширина 540 мм
высота 220 мм.

Требуется изготовление нового рабочего колпака с размещенным сверху фланцем Dy 170 для установки магнетрона.
Напыление осуществляется сверху вниз.


 
 
 
bigmir)net TOP 100
НПП УкрРосПрибор, 2004
Дизайн и программирование "Студия ourNet", 2004